研究活動
　ECFマイクロモータ 　ECFマイクロアクチュエータ 　ECポンプ 　ERFバルブ
　ERFマイクロバルブ 　マイクロマシン 　MRFバルブ 　MRFマイクロバルブ
　マイクロポンプ 　センサ 　マニピュレータ 　CPSシステム
 
ECF マイクロアクチュエータ
 
　粒子分散系ERFマイクロバルブ 　均一系ERFマイクロバルブ
　ERFマイクロフィンガシステム
 
粒子分散系 ERFバルブ

ERFマイクロフィンガシステム

MEMS-basedERmicrofingers

管内作業マイクロマシンなどの多自由度システムに応用することを目的として，出力密度が高くマイクロ化に適するアクチュエータシステムである交流圧力源を用いたERマイクロフィンガシステムを提案，開発している．システムのマイクロ化のために，ERマイクロバルブの良好なマイクロ化特性を利用してシステム各部の製作と組み立てをMEMSプロセスを用いて行っている．
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Anisotropic silicon ethed wafer
参考文献
(1) Tomoya Miyoshi, Kazuhiro Yoshida, Sang In Eom, ShinichiYokota: Proposal of a multiple ER microactuator system using an alternating pressure source, Sensors and Actuators, A, Vol.222, pp.167/175, (2015)

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Yoshida-Kim Laboratory