交流電気浸透（ACEO）マイクロポンプ
水などの液体に交流電圧を印加すると，電極表面に液体中の帯電粒子が集合して電気二重層が形成され，ここに電界によるクーロン力が作用してすべり速度が発生します．本研究室では，この交流電気浸透（ACEO）を応用し，可動部がないシンプルな構造のマイクロポンプの開発を進めています．
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| Working priciple of square pole - slit electrodes ACEO micropump (SS-ACEO-MP) |
Fabricated SS-ACEO-MP using MEMS technologies (max. 1.6 mm/s)45) |
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| Fabricated T-shaped electrode array ACEO micropump (TEA-ACEO-MP) using MEMS technologies |
Fabricated plate - cylinder electrode array ACEO micropump (PC-ACEO-MP) |
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参考文献
- 65: Maho Watanabe, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim, Sang In Eom and Shinichi Yokota: Three-dimensional AC electroosmotic micropump with high power density, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 33, (2023), 105008 (12pp). DOI: https://doi.org/10.1088/1361-6439/acef31
- 45: Kazuhiro Yoshida, Tomoyuki Sato, Sang In Eom, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota: A study on an AC electroosmotic micropump using a square pole - slit electrode array, Sensors and Actuators A, Vol. 265, pp. 152-160 (2017.8)
